Substrato di wafer di zaffiro/ zaffiro

Lo zaffiro appartiene al gruppo di minerali di Cordundum. È un cristallo di ossido di coordinazione comune. Appartiene al sistema di cristallo trigonale. Il gruppo Space Crystal è R3C. La composizione chimica principale è AI2O3. Il materiale ha una durezza in modalità fino a 9, seconda solo a Diamond. Sapphire ha una buona stabilità chimica, un basso costo di preparazione e tecnologia matura, quindi è diventato il principale materiale del substrato dei dispositivi optoelettronici a base di GAN. Inoltre, ha buone proprietà dielettriche e meccaniche ed è ampiamente utilizzato in display a pannelli piatti, dispositivi a stato solido ad alta efficienza, illuminazione fotoelettrica e altri campi. I substrati di silicio sono anche ampiamente utilizzati come materiali del substrato. La superficie del silicio è disposta a forma esagonale e il gradiente di temperatura verticale è grande, il che è favorevole alla crescita stabile di singoli cristalli ed è ampiamente utilizzato. Tuttavia, la più grande difficoltà tecnica nella fabbricazione di LED a base GAN su un substrato di silicio è la mancata corrispondenza reticolare e la mancata corrispondenza termica. La mancata corrispondenza reticolare tra silicio e nitruro di gallio è più volte quella del nitruro di silicio, che può causare problemi di cracking.

Il campo a semiconduttore di solito utilizza SIC come materiale di affondamento. La conduttività termica del nitruro di silicio è superiore a quella dello zaffiro. È più facile dissipare il calore rispetto allo zaffiro e ha una migliore capacità antistatica. Tuttavia, il costo del nitruro di silicio è molto più alto di quello dello zaffiro e il costo della produzione commerciale in alto. Sebbene anche i substrati di nitruro di silicio possano essere industrializzati, sono costosi e non hanno un'applicazione universale. Altri materiali che affondano come GAN, ZnO, ecc. Sono ancora nella fase di ricerca e sviluppo e c'è ancora molta strada da fare dall'industrializzazione.

Quando si seleziona un substrato, è necessario considerare la corrispondenza del materiale del substrato e del materiale epitassiale. La densità del difetto del substrato è necessaria per essere bassa, le proprietà chimiche sono stabili, la temperatura è piccola, non è facile corrodere e non può reagire chimicamente con il film epitassiale e considerare la situazione reale. Costi di produzione in produzione. Il substrato di zaffiro ha una buona stabilità chimica, una resistenza ad alta temperatura, un'elevata resistenza meccanica, una buona dissipazione del calore in condizioni di corrente piccola, nessun assorbimento della luce visibile, prezzo moderato, tecnologia di produzione matura e possono essere commercializzati.

Applicazione del substrato di zaffiro nel campo SOS